地质分析技术（geoanalytical technologies）在20世纪60年代以前，分析岩石矿物的主元素、次量元素组分含量，主要以传统的化学分析为主，统称为岩矿分析（rock and mineral analysis）。20世纪70～80年代，随着对岩矿中痕量元素分析的需求和分析技术的进步，多种仪器分析技术得到迅速发展。

当今地质分析技术中，包括①用于整体分析的主要方法有：智能化X射线荧光技术——主、次和许多痕量元素分析的主要方法；电感耦合等离体发射光谱技术——痕量元素、特别是稀土元素测定的首选方法；电感耦合等离子体质谱——痕量元素、超痕量元素分析的最强有力的工具；全反射X射线荧光新技术——痕量样品（微升级）超痕量（10-10～10-15克）分析和表面分析技术；中子活化分析——最重要的痕量元素分析技术。②用于微区原位分析与元素微区分布分析的方法有：电子微束技术，如电子探针、分析电子显微镜、扫描电子显微镜、透射电子显微镜等；X射线及高能粒子微束分析技术，如同步辐射X射线探针、扫描核探针；激光及低能离子微束分析技术，如二次离子探针质谱、激光烧蚀电感耦合等离子体质谱等。③用于形貌、结构与价态分析技术有：X射线衍射技术、X射线光电子光谱、电子能量损失谱、X射线吸收光谱、扫描隧道显微技术（包括光电子光谱、俄歇电子谱）、扩展X射线吸收精细结构技术、X射线吸收近限结构技术等。④用于有机分析与形态分析的技术主要有：气相色谱、气相色谱质谱联用技术、高效液相色谱、毛细管电泳技术、红外光谱、激光拉曼光谱、超临界萃取和化学传感器等。⑤用于地质年代学及稳定同位素分析的方法：传统的年代学技术是以K Ar、U Pb、Pb Pb、Rb Sr、Sm Nd、Re Os为主的热离子质谱法和负离子质谱法。新的发展引人注目，即：微区年代学方法、激光探针Ar/Ar测年法、宇宙成因同位素加速器质谱、惰性气体同位素法等。